注塑模運動件表面DLC涂層提高模具耐模性運用

发布时间:2019-12-18 作者:bet36体育在线网 浏览次数: 113

傳統的真空蒸發鍍膜法具有較高的沉積速度,生成的薄膜純度高,但薄膜與基體結合強度差,加。離子注入法與基體結合牢固,表面不存在粘附破裂或剝落。然而,離子注入的注入層太薄,僅數百納米,在耐磨工況下應用受到一定限制。

為了克服真空蒸發鍍膜法結合力差以及離子注入法注入層淺的問題,把薄膜蒸發沉積與離子注入技術結合起來,真空蒸發離子束輔助沉積技術。該技術在用蒸發源(電子束)將元素沉積在基片上的同時,用離子轟擊鍍層,以獲得比離子注入層更厚、比蒸發鍍膜法附著力更大的高性能致密膜層。